先端セラミック材料特性表

アドバンストセラミックス特性表
プロパティ 単位 酸化物セラミックス 窒化物セラミックス 超硬セラミックス その他のセラミックス
アルミナ ZTA ジルコニア 酸化ベリリウム 窒化アルミニウム 窒化ケイ素 窒化ホウ素 炭化ケイ素 機械加工可能なセラミックス
96% 99.7% 99.95% ZTA 3YZ Mg-PSZ ブラック・ジルコニア BeO AL170 AL200 AL230 GPSN HPSN 99% 純度 (HP) 99.5% 純度 99.8% 純度 熱分解（PBN） BN+AlN BN-B BN-C BN-D BN-S BN-S2 BN-S+ 焼結SiC 反応結合SiC マコー MGC
圧縮強度 MPa 2000 2000 3500 2500 2000 2000 2000 1700 2100 - - 3000 3000 120 120 120 154 ∥ / 550 ⊥ 110 130 225 220 380 420 480 2500 2500 345 450
密度 g/cm3 3.75 3.95 3.98 4.1 6.05 5.7 6.0 2.86 3.3 3.3 3.3 3.2 3.3 2.0 2.1 2.2 2.1-2.2 2.25-2.35 2.40-2.50 2.80-2.90 2.80-2.90 2.20-2.30 2.55-2.65 2.75-2.85 3.1 3.1 2.52 2.6
曲げ強度 @ 25°C MPa 200-300 250-350 500-600 600 1200 500 1000 200 400 400 400 700 900 30-40 45 50 80 ∥ / 173 ⊥ 65 85 115 120 150 220 320 410 400 94 110
破壊靭性 KIC MPa m1/2 4.5 4 4.5 7 8 8 8 2 3.0 3.0 3.0 6.0 7.0 2.6 ~3 ~3 - - - - - - - - 4.6 4.0 1.5 1.8
硬度 GPa 12 14 18 16 13.5 11 12 12 11 11 11 14 16 0.25 ~0.4 ~0.5 - - - - - - - - 28 20 2.3 2.5
ヤング率 GPa 300 370 400 335 200 200 200 300 330 330 330 280 310 40 45 50 25 ∥ / 90 ⊥ - - - - - - - 350-400 350 66.9 70
熱伝導率 @ 25°C W/mK 25 33 45 20 2 2 2 200 170 200 230 20 30 32 35 40 2 ∥ / 60 ⊥ 30 30 20 80 40 40 40 102.6 150 1.5 1.6
CTE @ 25°C - 1000°C 10-6/K 6.3 6.5 7.5 7 10 9 10 8 4.6 4.6 4.6 3.0 2.8 2.5 2.6 2.8 1.0 ∥ / 4.5 ⊥ 2.0 2.8 3.5 2.8 2.7 2.7 2.7 4.02 4.5 9.0 9.2
最高温度（空気） °C 1600 1700 1750 1500 800 800 800 1800 1200 1200 1200 1100 1200 850 900 900 900 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1200 1380 800 850
最高温度（不活性） °C 1600 1700 1750 1500 1000 1500 1500 2000 1350 1350 1350 1300 1400 2000 2000 2000 2100 1800 1800 1800 1800 1800 1800 1800 1900 1380 1000 1050
誘電率@1MHz - 9.8 9.9 9.9 10 29 20 20 6.7 9.0 9.0 9.0 7.5 8.5 4-5 ~4 ~4 3.4 ∥ / 5.2 ⊥ - - - - - - - - 8.0 6 6.2
絶縁耐力（DC） kV/mm 9 11 16 16 18 10 18 40 >15 >15 >15 20 18 >40 >40 >40 >50 - - - - - - - - - 62 65
体積抵抗率 @ 25°C オーム・シーエム >1014 >1014 >1016 >1016 >1012 >1012 >1012 >1014 >1014 >1014 >1014 >1015 >1014 >1013 >1013 >1013 >1015 >1013 >1012 >1012 >1013 >1013 >1013 >1013 102-1011 102-103 >1017 >1017

注： 実際の数値はロット、形状、サイズによって異なるため、データは参考値であり、いかなる保証をするものではありません。